廈門光刻膠   美國(guó)光刻膠

• AZ MIR701(14CP)是一種?高分辨率正性光刻膠?，膠厚范圍在?0.7-1.4μm?之間，極限線寬為?0.5μm?，適用于光刻工藝。通過稀釋可進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)?500納米及以下?的分辨率，適配激光干涉光刻等分辨率需求
  

• ?粘附性?：
  該光刻膠具有的基板粘附性，尤其適合硅、玻璃等半導(dǎo)體材料
  

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• ?前烘條件?：90℃烘烤60秒（DHP設(shè)備）

• ?曝光設(shè)備?：需使用?I線步進(jìn)式曝光機(jī)?（波長(zhǎng)365nm）

• ?曝光后烘烤?：110℃烘烤60秒（DHP）以穩(wěn)定圖形

• ?顯影液?：推薦?AZ300MIF（2.38% TMAH溶液）?，23℃下顯影60秒