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小型磁控金屬鍍膜儀

更新時間:2025-01-21 [舉報]
桌面式磁控濺射儀KT-Z1650PVD離子濺射儀為一種有著緊湊結構的桌上型鍍膜系統,對于掃描電鏡成像中非導電樣品鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時,交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進行清潔,之后試樣復原,再進行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料,有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料,氧氣為離子濺射儀常用的反應氣體。
*外形小巧方便移動
*觸摸屏控制,工藝記憶儲存方便鍍相同樣品
*自動化電動擋板,能自動打開關閉,鍍樣時間和保護樣品
*石英+不銹鋼腔體,方便觀察和清洗

桌面式真空濺射儀KT-Z1650PVD廠家供應技術參數;
控制方式 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制
濺射電源 直流濺射電源
鍍膜功能 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率 ≤1000W
輸出電壓電流 電壓≤1000V 電流≤1A
真空 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa
濺射真空 ≤30Pa
擋板類型 電控
真空腔室 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm
樣品臺 可旋轉φ62 (可安裝φ50基底)
樣品臺轉速 8轉/分鐘
樣品濺射源調節距離 40-105mm
真空測量 皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa)
預留真空接口 KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口
標簽:小型濺射儀濺射儀
鄭州科探儀器設備有限公司

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