二流體清洗機離心硅片晶圓微塵攝像頭模組芯片清洗機廠家
二流體清洗機離心硅片晶圓微塵攝像頭模組芯片清洗機廠家
清洗方式:高速旋轉離心清洗
清洗對象:硅片、晶圓、芯片、微塵攝像頭、模組
清洗夾具:根據客戶產品需求定制
晶圓清洗機,也叫離心式清洗機
功能優勢 :晶圓清洗機,用于晶圓等表面微塵清洗。
工作類型 :旋轉式二流體噴淋清洗+離心甩干
使用范圍 :通過高壓純水沖洗及水氣二流體清洗,從而實現了有效去除Holder,CMOS本體,Wafer等表面微塵顆粒。
二流體清洗機機器特點:
●晶圓表面粉塵,雜質清洗機器;
●鏡面銹鋼一體化封閉機身,對工作環境,適合無塵車間使用要求;
●可更換清洗盤清洗多種產品,清洗盤按產品定做;
●PLC自動控制,操作方便快捷;
●透明防爆前門,安全作業,便于觀察;
●全系統儀表顯示,隨時監控清洗狀況;
●采用二流體清洗,清洗精度高,對產品零損傷,純水消耗量極小;
●旋轉式噴桿,避免二次污染產品;
●配備靜電消除裝置、腔壁加熱裝置,輔助清洗達到佳效果;
●配備2級空氣過濾系統,壓縮空氣符合ISO8573、1標準;
●機身緊湊,占用面積小;
●完全使用超純水清洗,符合RoHS標準。