機械過濾污水處理常用的方法，根據過濾介質不同，機械過濾設備分為顆粒介質過濾和纖維過濾兩類，顆粒介質過濾主要以砂石等顆粒濾料作為過濾介質，通過顆粒濾料吸附作用和砂粒之間孔隙對水體中固體懸浮物截留作用實現過濾的，優點是易反沖，缺點是濾速慢，一般不超過7m/h；截污量少，其核心過濾層只有濾層表面；過濾精度低，只有20-40μm，并不適合含高濁度污水快速過濾。

使濾床具有纖維過濾的孔隙度高、比表面積小、濾速高、截污量大、過濾精度高等優點，當水中懸浮物流經纖維濾料表面時，在范德華引力和經電作用下，懸浮固體和纖維束粘附力遠大于與石英砂的粘附力，有利于提高濾速和過濾精度。

過濾器檢漏常用的儀器有：塵埃粒子計數器和5C氣溶膠發生器。塵埃粒子計數器，用于測量潔凈環境中單位體積空氣內的塵埃粒子大小及數目，可直接檢測潔凈度等級為十級至三十萬級的潔凈環境。體積小、重量輕、檢測精度高、功能操作簡單明了，微處理器控制，可貯存、打印測量結果，測試潔凈環境十分便利。5C 氣溶膠發生器，TDA-5C氣溶膠發生器能產生一致的多種直徑分布的氣溶膠粒子，TDA-5C氣溶膠發生器與TDA-2G或TDA-2H等氣溶膠光度計配合使用時能提供足夠的挑戰粒子去測量過濾系統。

油霧法起源于德國，中國和前蘇聯也實行。測試塵源為油霧，“量”為含油霧空氣的濁度，以過濾器前后氣樣的濁度差別來判斷過濾器對油霧顆粒的過濾效率。德國規定使用石蠟油，油霧粒徑為0.3~0.5µm。中國標準規定油霧平均重量直徑為0.28~0.34µm，對油的種類未做具體規定。相關的標準有：中國GB6165-85，德國DIN24184-1990。油霧法在檢測過濾器時，容易對過濾器造成損傷，且不能直接讀值，浪費時間。德國油霧法已成為歷史，德國于1993 年率先頒布了以計數法為檢測方法的國家標準，歐洲標準EN-1822就是在德國標準的基礎上制定的。我國只有少數軍工單位使用該方法。

要延長過濾器的使用壽命，根本的辦法是將灰塵擋在預過濾器。更換預過濾器一般無須停產，無須調試，所以有經驗的業主會把注意力和金錢花在預過濾器及保護級中級過濾器上。對于10K級和100K級潔凈廠房，預過濾選用G4、中級可選用F8過濾器（比色法95%），這樣，末端過濾器的使用壽命一般可達5年。在國外項目中和國內新建項目中，F8過濾器是非均勻流潔凈室常見的預過濾器。

過濾器正常初姐力在100-220PA，終阻力正常為200-440PA，所以過濾器對室內壓差影響大，不過在設計的時候，這些因素都考慮進去了，室內正壓，或者負壓，都是需要通過出口量和回風量來控制的。