特點(diǎn)
1. 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；

2. 耐高溫，在工作場(chǎng)地潔凈等級(jí)達(dá)到class1000#前提下，實(shí)驗(yàn)室內(nèi)能有效過(guò)濾微塵而達(dá)到潔凈等級(jí)class100#；

3. 疊成組合式，減少場(chǎng)地占用面積，。

一般的電熱真空無(wú)塵干燥箱都采用先加熱真空室壁面、再由壁面向工件進(jìn)行輻射加熱的方式。在這種方式下，控溫儀表的溫度傳感器可以布置在真空室外壁。傳感器可以同時(shí)接受對(duì)流、傳導(dǎo)、和輻射熱。而處于真空室里的玻璃棒溫度計(jì)只能接受輻射熱，更由于玻璃棒黑度不可能達(dá)到1，相當(dāng)一部分輻射熱被折射了，因此玻璃棒溫度計(jì)反映的溫度值就肯定低于儀表的溫度讀數(shù)。一般講，200℃工況時(shí)儀表的溫度讀數(shù)與玻璃棒溫度計(jì)的讀數(shù)兩者相差30℃以?xún)?nèi)是正常的。如果控溫儀表的溫度傳感器布置在真空室內(nèi)，玻璃棒溫度計(jì)的溫度值與儀表的溫度讀數(shù)之間的差異可以適當(dāng)縮小，但不可能消除，而真空室的密封可靠性增加了一個(gè)可能不可靠環(huán)節(jié)。如果從操作實(shí)用角度考慮不希望看到這個(gè)差異，可以采用控溫儀表特有的顯示修正功能解決。

無(wú)塵潔凈烘箱由外殼、烘烤區(qū)、加熱系統(tǒng)、轉(zhuǎn)子流量計(jì)，氣體減壓調(diào)節(jié)閥、排氣口等部件組成。箱體由簿鋼板加工焊接而成、烘烤區(qū)內(nèi)壁選用不銹鋼板、箱體與內(nèi)室之間填充硅酸鋁纖維作保溫材料。箱門(mén)與烘烤區(qū)邊框裝有保溫密封條(耐高溫門(mén)封條和迫緊裝置)因此有效地了箱體的密封性能、節(jié)約氮?dú)猓榭緟^(qū)內(nèi)配置抽動(dòng)的三層載物網(wǎng)板( 可按需設(shè)計(jì))。

無(wú)塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

檢查無(wú)塵潔凈烤箱是否符合生產(chǎn)要求，檢查臺(tái)車(chē)烘箱各緊固件是否松動(dòng)，開(kāi)機(jī)操作前檢查臺(tái)車(chē)烘箱是否有漏電現(xiàn)象，若漏電嚴(yán)禁操作使用，并及時(shí)查出原因。 加入待烘干物料，物料的厚度不得超過(guò)3cm，合上電源總開(kāi)關(guān)，電源指示燈亮。 按下無(wú)塵潔凈烤箱啟動(dòng)按鈕，風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)，溫控器通電。初次使用應(yīng)檢查風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)向，右側(cè)風(fēng)機(jī)從電機(jī)端看進(jìn)去應(yīng)為逆時(shí)針轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)向不符應(yīng)改變電源相序。

無(wú)塵潔凈烤箱需要使用定時(shí)器時(shí)，先將定時(shí)時(shí)間值設(shè)定好，再將定時(shí)開(kāi)關(guān)擰在“開(kāi)”的位置即可，如果需要觀(guān)察臺(tái)車(chē)烘箱的濕度，請(qǐng)按下濕度表下面的紅色開(kāi)關(guān)。受熱后易燃易爆的物料不能進(jìn)入潔凈烘箱烘烤，操作中如有異常情況，應(yīng)立即停機(jī)檢查，待維修正常后使用。無(wú)塵潔凈烤箱外殼有良好接地，應(yīng)放置在具有良好通風(fēng)條件的室內(nèi)，在其周?chē)豢煞胖靡兹家妆锲贰?/p>