一般的電熱（鼓風）無塵干燥箱均設有溫度均勻度參數：自然對流式的干燥箱為工作溫度上限乘3%，強制對流式的干燥箱為工作溫度上限乘2.5%。惟電熱真空干燥箱不設溫度均勻度參數，這是為什么？真空干燥箱內依靠氣體分子運動使工作室溫度達到均勻的可能性幾乎已經沒有了。因此，從概念上我們就不能再把通常電熱（鼓風）干燥箱所規定的溫度均勻度定義用到真空干燥箱上來。在真空狀態下設這個指標也是沒有意義的。熱輻射的量與距離的平方成反比。同一個物體，距離加熱壁20cm處所接受的輻射熱只是距離加熱壁10cm處的1/4。差異很大。這種現象與冬天曬太陽時，曬到太陽的一面很暖和，曬不到太陽的一面比較冷是一個道理。由于真空干燥箱在結構上很難做到使工作室三維空間內的各點輻射熱的均勻一致，同時也缺乏的評估方法，這有可能是電熱真空干燥箱標準中不設溫度均勻度參數的原因。

保養方法
日保養

1． 打掃表面及內腔灰塵，保持機器干凈、衛生。

2． 檢查電流表電流跟正常時是否一樣，如有異樣，通知維修工檢修。

3． 突然停電，要把加熱開關關閉，防止來電時自動啟動。

4． 檢查風機運轉是否正常，有無異常聲音，如有立即關閉機器并通知維修工檢修。

月保養

1． 檢查通風口是否堵塞，并清理積塵。

2． 風機運轉是否正常。

3． 維修工檢查電流是否正常。

4． 檢查溫控器是否準確，如不準確，請調整溫控器的靜態補償或傳感器修正值。

5． 檢查發熱管有無損壞，線路是否老化。

6． 檢查延時器是否準確，誤差是否允許。

無塵潔凈烘箱是一種新型可營造無氧的恒溫環境的電熱鼓風干燥箱，在加溫工作的同時充入氮氣，適用高溫易氧化產品烘烤，可滿足半導體電子、金屬、晶圓、油墨、醫療衛生儀器、儀表，工廠，高等院校，科研部門等相關單位作生產烘實驗的需要。該烘箱采用不銹鋼工作室(滿涅制造、覆套不銹鋼加熱器加熱，充入惰性氣體，因此干娛箱內造成潔凈(可選裝耐高溫過濾器，達到潔凈無塵要求)和溫度均勻的微氧高溫環境(含氧濃度20-500PPM )，有助于提高產品質量，該箱外形美觀，使用方便控溫靈敏

無塵潔凈烘箱由外殼、烘烤區、加熱系統、轉子流量計，氣體減壓調節閥、排氣口等部件組成。箱體由簿鋼板加工焊接而成、烘烤區內壁選用不銹鋼板、箱體與內室之間填充硅酸鋁纖維作保溫材料。箱門與烘烤區邊框裝有保溫密封條(耐高溫門封條和迫緊裝置)因此有效地了箱體的密封性能、節約氮氣，洪烤區內配置抽動的三層載物網板( 可按需設計)。

無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

無塵潔凈烤箱內外應經常保持清潔，長期不用應罩好塑料防塵罩，放在干燥的室內，高溫狀態下禁止打開箱門，加熱過程中務必風機是正常運轉，嚴禁安裝在潮濕的環境下運行，操作人員熟悉無塵潔凈烤箱的結構、性能、工作原理及調整方法，操作方法及保養知識。