產品別名 |
探針臂,FV-2,探針臺測試,探針臂接口 |
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探針臺如何工作？
探針臺可以固定晶圓或芯片，并定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中，并使用顯微鏡將探針放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針都被設置在正確的位置，就可以對待測物進行測試。
對于帶有多個芯片的晶圓，使用者可以抬起壓盤，壓盤將探針頭與芯片分開，然后將工作臺移到下一個芯片上，使用顯微鏡找到的位置，壓板降低后下一個芯片可以進行測試。半自動和全自動探針臺系統使用機械化工作臺和機器視覺來自動化這個移動過程，提高了探針臺生產率。半導體測試可以按生產流程可以分為三類：驗證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。
探針臺主要用于晶圓制造環節的晶圓檢測、芯片研發和故障分析等應用。除探針臺外，晶圓檢測環節還需要使用測試儀/機，測試儀/機用于檢測芯片功能和性能，探針臺實現被測芯片與測試機的連接，通過探針臺和測試機的配合使用，可以對晶圓上的裸芯片進行功能和電參數測試或射頻測試，可以對芯片的良品、不良品的進行篩選。
FV系列高低溫真空探針臺 | ||||
功能/型號 | FV-2 | FV-4 | FV-6 | |
腔體 | 樣品臺尺寸 | 2英寸 | 4英寸 | 6英寸 |
觀察窗 | 高透石英玻璃 | |||
真空度 | 優于2*10E-3Pa | |||
探針臂接口 | 4個 | 6個 | ||
KF接口 | 2個KF40接口、2個KF25接口、1個KF16接口 | |||
冷源接口 | CF接口，同軸方式 | |||
溫度控制 | 溫度范圍 | -196℃-200℃，可升級更高溫度 | ||
溫控精度 | 1℃/0.1℃/0.01℃ | |||
溫度穩定性 | ±1℃/±0.1℃/±0.01℃ | |||
制冷 | 液氮/制冷機 | |||
加熱 | 直流加熱 | |||
顯微鏡系統 | 顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡、體視顯微鏡、金相顯微鏡 | ||
放大倍率 | 400X | |||
固定方式 | 讓立柱旋轉結構、龍門架固定結構 | |||
探針臂 | 數量 | 多4個 | 多6個 | |
XYZ移動行程 | 50mm*10mm*10mm | 100mm*50mm*25mm | ||
移動精度 | 2um | |||
測試接頭 | 三軸接頭/射頻接頭 | |||
探針 | 鎢鋼/鈹銅材質，針尖半徑可選 | |||
真空配件 | 分子泵 | 極限真空度10E-4Pa | ||
機械泵 | 極限真空度10E-1Pa | |||
附件 | KF25波紋管、KF40卡箍、KF25卡箍、KF16放氣閥 | |||
可搭配儀器 | 源表/半導體參數分析儀/萬用表/示波器/網絡分析儀等 | |||
其他附件 | 射頻配件、光學平臺、激光器、光纖、轉接頭、轉接線 | |||
公司所有產品出廠都經過嚴格測試，產品質量，公司所有產品通過CE認證，通過ISO9001質量體系認證。
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