二流體離心清洗機(jī),半導(dǎo)體晶圓晶粒離心清洗機(jī)往復(fù)式清洗設(shè)備
二流體離心清洗機(jī),半導(dǎo)體晶圓晶粒離心清洗機(jī)往復(fù)式清洗設(shè)備
二流體離心清洗機(jī)清洗對象:
1、清洗對象:諦化鉍圓晶晶粒半導(dǎo)體行業(yè)表面的硅、粉塵屑的清洗;
2、清洗方式:旋轉(zhuǎn)式二流體噴淋清洗+離心甩干;
3、工作材質(zhì):圓晶晶圓晶粒、諦化鉍、玻璃、PCB板等;
4、清洗工作臺尺寸:¢600mm;
5、清洗節(jié)拍:3~5min(可調(diào)節(jié));
6、工作臺旋轉(zhuǎn)速度:100~1000RPM;
二流體離心清洗機(jī)的工作流程:該款二流體離心清洗機(jī)是一臺全自動的清洗機(jī),清洗介質(zhì)為兩流體(高純水與壓縮空氣),清洗機(jī)工作時操作者將要清洗的工件放到工作臺上,固定好后,人工按下清洗按鈕,可視氣缸門將自動關(guān)閉,對工件進(jìn)行清洗及甩干,當(dāng)時間到后,可視氣門自動開啟,就完成了整個清洗過程,除上下料外,整個清洗、甩干過程為全自動運(yùn)行,無人工干預(yù)。
二流體離心清洗機(jī)具體操作的流程:
人工上料 → 一鍵清洗開始 → 門自動關(guān)閉 → 二流體噴淋清洗 → 離心甩干(去靜電離子及加熱腔體輔助干燥) → 清洗完畢 → 報警提示 → 門自動打開 → 人工下料。