特點
1. 全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
2. 耐高溫,在工作場地潔凈等級達到class1000#前提下,實驗室內能有效過濾微塵而達到潔凈等級class100#;
3. 疊成組合式,減少場地占用面積,。
無塵潔凈烘箱的操作要求:
1.氮氣口:操作前應將氮氣接通本機之氮氣口,特別注意在接通前先將N2壓力調節至適合的流量值。
2.將烘烤物置入箱內后須將門面關閉,門扣確實扣緊后,門面安全開關有作用,機臺才能順利啟動。
3.無塵潔凈烘箱后方之冷卻排風口,請接至排氣系統冷卻時有高溫,接管須加保溫隔熱以防操作人員燙傷或影響工作環境。
在開始工作前的話要確認電氣是否正常,將檢測物品正確放置箱內,開啟電源開關并調整溫控儀表、適當的溫度與加熱恒溫時間,并目操作人員要專心操作并配戴防護器具:并不得離開加工區
無塵潔凈烘箱是一種新型可營造無氧的恒溫環境的電熱鼓風干燥箱,在加溫工作的同時充入氮氣,適用高溫易氧化產品烘烤,可滿足半導體電子、金屬、晶圓、油墨、醫療衛生儀器、儀表,工廠,高等院校,科研部門等相關單位作生產烘實驗的需要。該烘箱采用不銹鋼工作室(滿涅制造、覆套不銹鋼加熱器加熱,充入惰性氣體,因此干娛箱內造成潔凈(可選裝耐高溫過濾器,達到潔凈無塵要求)和溫度均勻的微氧高溫環境(含氧濃度20-500PPM ),有助于提高產品質量,該箱外形美觀,使用方便控溫靈敏
無塵潔凈烘箱由外殼、烘烤區、加熱系統、轉子流量計,氣體減壓調節閥、排氣口等部件組成。箱體由簿鋼板加工焊接而成、烘烤區內壁選用不銹鋼板、箱體與內室之間填充硅酸鋁纖維作保溫材料。箱門與烘烤區邊框裝有保溫密封條(耐高溫門封條和迫緊裝置)因此有效地了箱體的密封性能、節約氮氣,洪烤區內配置抽動的三層載物網板( 可按需設計)。
無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
加熱1、加熱步驟在氣壓穩定狀態下進行,否則易導致內外壓強及溫度差,造成外部大氣沖入箱內等突發狀況;2、升溫過程中,加熱指示燈長亮,達到設置溫度后,加熱自動停止,同時指示燈熄滅。待溫度低于設置溫度時,加熱再次啟動,加熱指示燈亮;3、加熱指示燈及溫度需正常顯示,若指示燈不亮需及時關閉電源并聯系儀器負責人。
無塵潔凈烤箱需要使用定時器時,先將定時時間值設定好,再將定時開關擰在“開”的位置即可,如果需要觀察臺車烘箱的濕度,請按下濕度表下面的紅色開關。受熱后易燃易爆的物料不能進入潔凈烘箱烘烤,操作中如有異常情況,應立即停機檢查,待維修正常后使用。無塵潔凈烤箱外殼有良好接地,應放置在具有良好通風條件的室內,在其周圍不可放置易燃易爆物品。
一般精密烘箱的內部循環方式有水平送風和垂直送風,為了達到內部無塵的環境,需要在出風口的位置增加高溫過濾裝置(又分為千級和百級過濾器)。烘箱內的空氣通過回風口后,一部分經過排氣口排除箱外,另外的經過循環通道再次加熱,后通過過濾器后回到工作室。除了過濾空氣外,另外要盡量避免工作過程中產生灰塵,需要選用的材料、電器。如加熱管需要在高溫下不能產生顆粒。
無塵烤箱的工作原理是通過利用熱沉降法來烤材料。當烤箱內部氣流流動時,熱量會被沉降到接近材料表面,而表面溫度則會逐漸提高,從而完成烤制過程。在烤箱內,熱量會被比較地混合和分散此熱量可以全面加熱材料的表面和內部,使整個材料得到均勻的加熱同時,由于熱量的比較均勻的分布,可以明顯降低蒸發現象,從而大大減少煙塵的排放。
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