缺點是工作壓力較低；存在泄漏問題，容積效率較低；流量脈動大。由于腐蝕原因，齒輪泵多用于輸油，針對水介質需要設計。微型薄膜水泵是通過薄膜的往復振動來泵送流體。膜片向后運動時，泵腔體積增大，腔內壓力降低，在壓差作用下，進口閥打開，吸入流體；當膜片向前運動時，泵腔體積減小，腔內壓力升高，在壓差作用下，出口閥打開，排出流體；如此循環往復。它的驅動原理多種多樣，有靜電、壓電、電磁、熱、氣動、電液、行波傳遞、凝膠致動和光熱致動等。
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