用途
無塵工業烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門。
無塵工業烤箱也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
一般的電熱真空無塵干燥箱都采用先加熱真空室壁面、再由壁面向工件進行輻射加熱的方式。在這種方式下,控溫儀表的溫度傳感器可以布置在真空室外壁。傳感器可以同時接受對流、傳導、和輻射熱。而處于真空室里的玻璃棒溫度計只能接受輻射熱,更由于玻璃棒黑度不可能達到1,相當一部分輻射熱被折射了,因此玻璃棒溫度計反映的溫度值就肯定低于儀表的溫度讀數。一般講,200℃工況時儀表的溫度讀數與玻璃棒溫度計的讀數兩者相差30℃以內是正常的。如果控溫儀表的溫度傳感器布置在真空室內,玻璃棒溫度計的溫度值與儀表的溫度讀數之間的差異可以適當縮小,但不可能消除,而真空室的密封可靠性增加了一個可能不可靠環節。如果從操作實用角度考慮不希望看到這個差異,可以采用控溫儀表特有的顯示修正功能解決。
保養方法
日保養
1. 打掃表面及內腔灰塵,保持機器干凈、衛生。
2. 檢查電流表電流跟正常時是否一樣,如有異樣,通知維修工檢修。
3. 突然停電,要把加熱開關關閉,防止來電時自動啟動。
4. 檢查風機運轉是否正常,有無異常聲音,如有立即關閉機器并通知維修工檢修。
月保養
1. 檢查通風口是否堵塞,并清理積塵。
2. 風機運轉是否正常。
3. 維修工檢查電流是否正常。
4. 檢查溫控器是否準確,如不準確,請調整溫控器的靜態補償或傳感器修正值。
5. 檢查發熱管有無損壞,線路是否老化。
6. 檢查延時器是否準確,誤差是否允許。
無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
加熱1、加熱步驟在氣壓穩定狀態下進行,否則易導致內外壓強及溫度差,造成外部大氣沖入箱內等突發狀況;2、升溫過程中,加熱指示燈長亮,達到設置溫度后,加熱自動停止,同時指示燈熄滅。待溫度低于設置溫度時,加熱再次啟動,加熱指示燈亮;3、加熱指示燈及溫度需正常顯示,若指示燈不亮需及時關閉電源并聯系儀器負責人。
按動“加熱”開關(加熱器通電),無塵潔凈烤箱進入正常工作,根據工藝要求設定溫度,當臺車烘箱溫度上升接近設定值時,加熱器電源時通時斷,臺車烘箱進入恒溫工作。無塵潔凈烤箱操作結束后應立即關閉電源開關,做好無塵潔凈烤箱的清潔和保養工作。無塵潔凈烤箱正面上方設有一圓形進氣口,調節進氣口大小可調節烘箱的進氣量,其進氣量增加,箱頂排氣口排氣量也增加,可根據實際情況合理調節進排氣量,一般無塵潔凈烤箱剛開始啟動或溫度較低時關閉進氣門,以利無塵潔凈烤箱的溫度上升,當無塵潔凈烤箱內溫度較高時打開進氣門,以利于水分排出。
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