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GB/T 16944 2009《電子工業用氣體 氮》標準主要應用于電子工業中的多個領域，特別是超大規模集成電路（VLSI）制造。氮氣在電子工業中扮演著重要角色，常見的應用包括：
潔凈室環境 ：氮氣用于創建無塵無菌的潔凈室環境，以防止雜質對半導體芯片制造過程的影響，確保產品質量。
2. 蝕刻工藝 ：在光刻和蝕刻過程中，氮氣常作為保護氣體，防止暴露在光刻膠下的硅表面被氧化。
3. 摻雜 ：氮氣可以用于摻雜硅片，通過離子注入技術增加半導體材料的導電性，改變其電子性質。
4. 設備冷卻 ：氮氣也可用作冷卻劑，特別是在激光器和其他精密設備的操作中。
5. 存儲 ：在某些情況下，氮封系統用于存儲易燃或易氧化的液體化學品，防止它們與空氣接觸。
6. 測試和封裝 ：在半導體測試和封裝過程中，氮氣可能用于局部環境的保護或提供 的氣體氛圍。 因此，這個標準不僅規范了氮氣的質量要求，還指導了如何在電子工業的特定應用場景中正確處理和使用氮氣。
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