深圳中圖儀器橋式三次元坐標測量機Mars支持觸發探測系統，能夠對各種零部件的尺寸、形狀及相互位置關系進行檢測。不管是復雜的三維形狀還是細微的尺寸差異，每一次測量都能達到微米級精度，實現對產品質量的嚴格把控。
由于不同行業和領域的測量需求各不相同，中圖儀器三坐標測量機功能的研發和應用也可以根據具體情況進行定制和改進，國產品牌也能夠更快地響應客戶需求，提供及時的售后服務。

測控部分
控制器：
中圖Alpha系列控制器：自主研發，支持全閉環直流伺服電機驅動，具有的伺服跟隨控制能力，符合I++標準，兼容主流測量軟件。
第三方控制器支持：如Renishaw UCC T3 PLUS、Pantec EAGLE basic等。
測座：
中圖ACH100T全自動旋轉測座：支持A軸0-105°、B軸-180°-+180°的旋轉，具有720個可重復定位空間位置，支持長達300mm的加長桿。
第三方測座支持：如Pantec EAGLE.head M7.5M8、Renishaw PH10T等。
測頭：
中圖CP100T觸發測頭：機械式觸發測頭，支持空間5個方向的觸發受力，精度高、穩定性好。
第三方測頭支持：如Renishaw TP20、TP200、SP25等。
測針：
標配多種直測針和加長桿，支持M2和M8螺紋，直徑從Φ0.5mm到Φ4mm，長度從10mm到200mm，滿足不同測量需求。

測量軟件
Power DMIS：
中圖自主研發的三坐標測量分析軟件，支持DMIS與I++標準協議，通過德國PTB認證。
界面簡潔友好，支持路徑顯示和碰撞檢測，提供豐富的數據管理功能，適用于各類企業和行業。
第三方軟件支持：
橋式三坐標支持RationalDMIS、ARCOCAD等第三方測量軟件。

應用領域
中圖儀器橋式三次元坐標測量機用于機械制造、汽車、航天航空、船舶重工、軍工、風電、新能源等大型零件的測量；3C、工具原形等中小型零件的測量。涵蓋箱體、機架、齒輪，凸輪、渦輪，蝸桿、葉片的曲線、曲面的測量，可對工件的尺寸、形狀和形位公差進行精密檢測，完成過程控制，質量控制，逆向成型等任務。

選配件
冷干機：三坐標測量設備用于氣源的初級空氣過濾，除水、除油，延長測量機使用壽命。
過濾器：精細空氣過濾，進一步保護測量機的精密過濾系統。
UPS穩壓電源：提供電壓及斷電延遲保護，防止電壓不穩定或意外斷電導致的設備損壞或數據丟失。
測頭更換架：支持快速、可重復性的測頭更換，適用于復雜工件的自動化檢測。
夾具：模塊化支持和參考裝置，用于工件的柔性固定。

懇請注意：因市場發展和產品開發的需要，本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。
如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。

主營產品: 閃測儀,一鍵式測量儀,圖像尺寸測量儀,二次元

深圳市中圖儀器股份有限公司成立于2005年，致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發、生產和銷售。 中圖儀器堅持以技術創新為發展基礎，擁有一支集光、機、電、信息技術于一體的技術團隊，歷經20年的技術積累和發展實踐，研發出了基礎計量儀器、常規尺寸光學測量儀器、微觀尺寸光學測量儀器、大尺寸光學測量儀器、常規尺寸接觸式測量儀器、微觀尺寸接觸式測量儀器、行業應用檢測設備等全尺寸鏈精密儀器及設備，能為客戶提供從納米到百米的精密測量解決方案。 中圖儀器的銷售和服務網點遍及全國三十多個省、市、自治區，產品歐、美、東南亞等海外市場，堅持為客戶提供的產品和服務。 中圖儀器還將繼續專注于精密測量檢測技術的發展，自強不息、知難而上、勇于創新，為中國制造技術的快速發展貢獻力量！

在晶圓制造前道過程的不同工藝階段點，往往需要對wafer進行厚度（THK）、翹曲度（Warp）、膜厚、關鍵尺寸（CD）、套刻（Overlay）精度等量測，以及缺陷檢測等；用于檢測每一步工藝后wafer加工參數是否達到設計標準，以及缺陷閾值下限，從而進行工藝控制與良率管理。半導體前

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