真空度 　　真空度傳感器，采用的硅微機(jī)械加工技術(shù)生產(chǎn)，以集成硅壓阻力敏元件作為傳感器的核心元件制成的壓力變送器，由于采用硅-硅直接鍵合或硅-派勒克斯玻璃靜電鍵合形成的真空參考?jí)毫η唬耙幌盗袩o(wú)應(yīng)力封裝技術(shù)及精密溫度補(bǔ)償技術(shù)，因而具有穩(wěn)定性優(yōu)良、精度高的優(yōu)點(diǎn)，適用于各種情況下壓力的測(cè)量與控制。 　　特點(diǎn)及用途 　　采用低量程芯片真空絕壓封裝，產(chǎn)品具有高的過(guò)載能力。芯片采用真空充注硅油隔離，不銹鋼薄膜過(guò)渡傳遞壓力，具有優(yōu)良的介質(zhì)兼容性，適用于對(duì)316L不銹鋼不腐蝕的絕大多數(shù)氣液體介質(zhì)真空壓力的測(cè)量。真空度傳染其應(yīng)用于各種工業(yè)環(huán)境的低真空測(cè)量與控制。

按其構(gòu)成 　　基本型傳感器:是一種基本的單個(gè)變換裝置。 　　組合型傳感器:是由不同單個(gè)變換裝置組合而構(gòu)成的傳感器。 　　應(yīng)用型傳感器:是基本型傳感器或組合型傳感器與其他機(jī)構(gòu)組合而構(gòu)成的傳感器。 按作用形式 　　按作用形式可分為主動(dòng)型和被動(dòng)型傳感器。 　　主動(dòng)型傳感器又有作用型和反作用型，此種傳感器對(duì)被測(cè)對(duì)象能發(fā)出一定探測(cè)信號(hào)，能檢測(cè)探測(cè)信號(hào)在被測(cè)對(duì)象中所產(chǎn)生的變化，或者由探測(cè)信號(hào)在被測(cè)對(duì)象中產(chǎn)生某種效應(yīng)而形成信號(hào)。檢測(cè)探測(cè)信號(hào)變化方式的稱為作用型，檢測(cè)產(chǎn)生響應(yīng)而形成信號(hào)方式的稱為反作用型。雷達(dá)與無(wú)線電頻率范圍探測(cè)器是作用型實(shí)例，而光聲效應(yīng)分析裝置與激光分析器是反作用型實(shí)例。 　　被動(dòng)型傳感器只是接收被測(cè)對(duì)象本身產(chǎn)生的信號(hào)，如紅外輻射溫度計(jì)、紅外攝像裝置等。

線性度 　　通常情況下，傳感器的實(shí)際靜態(tài)特性輸出是條曲線而非直線。在實(shí)際工作中，為使儀表具有均勻刻度的讀數(shù)，常用一條擬合直線近似地代表實(shí)際的特性曲線、線性度(非線性誤差)就是這個(gè)近似程度的一個(gè)性能指標(biāo)。 　　擬合直線的選取有多種方法。如將零輸入和滿量程輸出點(diǎn)相連的理論直線作為擬合直線;或?qū)⑴c特性曲線上各點(diǎn)偏差的平方和為小的理論直線作為擬合直線，此擬合直線稱為小二乘法擬合直線。

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