這種剛性結構蠕變小,漂移小,靜態性能穩定,動態性能好。厚膜彈性體結構簡單,易于制備。它與擴散硅壓力傳感器相比,不需半導體平面工藝來形成擴散電阻彈性膜片,大幅度減小了生產線的前期投入和工藝加工成本。陶瓷厚膜力數字傳感器主要由瓷環、陶瓷膜片和陶瓷蓋板三部分組成。陶瓷膜片作為感力彈性體,采用95%的AL2O3瓷精加工而成,要求平整、均勻、質密,其厚度與有效半徑視設計量程而定。瓷環采用熱壓鑄工藝高溫燒制成型。
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