對激光位移傳感器而言,激光三角測量法適用于、短距離的測量,激光回波分析法則用于遠(yuǎn)距離測量。在當(dāng)前的工業(yè)機器人應(yīng)用中,通常采用三角測量法,這種方法高線性度可達(dá)1um,分辨率可達(dá)到0.1um的水平。
激光位移傳感器的原理基于激光三角測量法。具體來說,激光器發(fā)射一束激光,經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)照射到被測物體表面,反射回來的光線再經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)成像在光電探測器上。當(dāng)被測物體發(fā)生位移時,反射光在探測器上的位置會發(fā)生改變,通過檢測這個改變量,可以計算出物體的位移量。
激光發(fā)射器通過鏡頭將可見紅色激光射向被測物體表面,經(jīng)物體反射的激光通過接收器鏡頭,被內(nèi)部的CCD線性相機接收,根據(jù)不同的距離,CCD線性相機可以在不同的角度下“看見”這個光點。根據(jù)這個角度及已知的激光和相機之間的距離,數(shù)字信號處理器就能計算出傳感器和被測物體之間的距離。同時,光束在接收元件的位置通過模擬和數(shù)字電路處理,并通過微處理器分析,計算出相應(yīng)的輸出值,并在用戶設(shè)定的模擬量窗口內(nèi),按比例輸出標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)信號。如果使用開關(guān)量輸出,則在設(shè)定的窗口內(nèi)導(dǎo)通,窗口之外截止。另外,模擬量與開關(guān)量輸出可立設(shè)置檢測窗口。
貝特威擁有業(yè)界為的激光三角測量傳感器,高分辨率可以達(dá)到0.03um,遠(yuǎn)檢測距離可以達(dá)到5.4m,為測量檢測提供全面的解決方案。
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