也由于水在汽化過程中，其溫度與蒸汽壓力成正比，故真空干燥時物料中的水分在低溫下就能汽化，達到低溫干燥，特別適用于藥品中有熱敏性物料的生產。同時，真空干燥可消除常壓熱風干燥易產生表面硬化現象，這是真空干燥物料內和表面之間壓差大，在壓力梯度作用下，水分很快移向表面，不會出現表面硬化。此外真空干燥時，物料內部和外部之間溫度梯度小，由逆滲透作用使得溶媒能夠自移動并收集，有效克服熱風干燥所產生的溶媒失散現象。
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