墻壁、門、送風口、窗、側面 在單一方向氣流的無塵室內，產品生產作業時不要清掃送風口附近區域，要在停止作業時或產品移出該區域后，再或者將產品覆蓋保護之后再進行清掃。采取真空吸入的方式和特殊的地方加上拖把清掃的清潔方式。具體方法根據潔凈度要求而定。非單一方向氣流的無塵室內，好在沒有生產作業時再進行清潔。
無塵室是通過過濾系統、氣流流型，以及密封結構來除塵、保持無塵環境的。 過濾系統一般是頂部加裝凈化空調或FFU，然后吹出潔凈空氣，吹到室內。 根據潔凈等級，對出風口進行排布，形成不同的氣流流型，如垂直流凈化效果更好，潔凈等級更高，造價費用也高。亂流效果稍差一些，潔凈等級低一些，當然費用也低。 密封結構，可以用潔凈鋼板、巖棉板、PVC網格簾、亞克力板、鋼化玻璃等，形成密封結構。 多種措施一起，無塵室就可以達到除塵、保持無塵環境了。
根據無塵室的用途，在需要的場合采用表面處理溶劑，這種處理劑，對無塵室內的產品有一定的保護作用，清潔完成后就不要再使用處理溶劑了。溶劑效果會隨著時間的變化而減弱，降低無塵室的清潔度。使用這種處理劑，不能持續管理的話，就會有設備、產品污染的風險。所以使用時，要定期的對無塵室進行檢查實驗，確保無塵室不被污染。如果處理劑效果變弱，潔凈度降低，需要馬上采取改善對策。
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