臭氧發生器是用于制取臭氧氣體（O3）的裝置。臭氧易于分解無法儲存，需現場制取現場使用（特殊的情況下可進行短時間的儲存），所以凡是能用到臭氧的場所均需使用臭氧發生器。臭氧發生器在飲用水，污水，工業氧化，食品加工和保鮮，醫藥合成，空間滅菌等領域廣泛應用。 臭氧發生器產生的臭氧氣體可以直接利用，也可以通過混合裝置和液體混合參與反應。

臭氧發生器系統設計時，能防止大量水進入到發生器內。
水封供氣壓縮機用的浮閥或空氣干燥器上的凝結水閥阻塞卡住，都會造成發生器電暈室內灌水。電暈室內大量進水可導致電暈集中、高電流密度和局部電介體發熱，造成介電體過早失效。即使檢測裝置在水進入電暈室之前切斷電暈電源，水中所含雜質也會沉積在元件表面上，這些雜質在繼續運行之前予以清除。運行故障或操作錯誤都能迫使處理出水從臭氧接觸池到流至發生器內，至少會造成電暈元件污染或者介電體損壞。此外，系統設計和操作規程阻止易燃的腐蝕性氣體及從臭氧接觸池回流的水蒸氣進入發生器內。

臭氧系統的核心技術和設備是發生器中的放電管，直接影響設備的運行效率和可靠性。臭氧發生器采用微間隙介質阻擋放電設計，不僅大大提高了運行的效率，而且增加了系統連續運行的安全可靠性。設備的技術參數已經達到國際水平。 由于采用微間隙放電技術，使系統運行電壓降低為6-8 kV，遠低于玻璃管絕緣介質的耐壓水平，有效地避免了介質擊穿短路故障的發生，提高了運行可靠性。 臭氧發生器放電單元所采用的模塊化設計方法，使設備的安裝，檢修和維護工作更加容易。在進氣氣源質量的條件下，臭氧發生器放電單元連續運行的免維護時間可以長達5年。

電解式發生器： 該類臭氧發生器通常是通過電解純凈水而產生臭氧。這種發生器能制取高濃度的臭氧水，制造成本低，使用和維修簡單。但由于有臭氧產量無法做大、電極使用壽命短、臭氧不容易收集等方面的缺點，其用途范圍受到限制。這種發生器只是在一些特定的小型設備上或某些特定場所內使用，不具備取代高壓放電式發生器的條件。
紫外線式臭氧發生器 ： 該類臭氧發生器是使用特定波長(185mm)的紫外線照射氧分子，使氧分子分解而產生臭氧。由于紫外線燈管體積大、臭氧產量低、使用壽命短，所以這種發生器使用范圍較窄，常見于消毒碗柜上使用。
電解池式臭氧發生器： 由于電極材料、電解液與電解機理方面的大量研究工作,電解法臭氧發生技術進展很大。近期發展的SPE(固態聚合物電解質)電極與金屬氧化催化技術,使用純水得到φ(O3)>14%的高濃度臭氧,使電解池式臭氧發生器的技術跨越了一大步。 Shiue,Lin-Ren等人的臭氧發生器電解池專利中用鈦電極板外表面覆蓋鉑層作為陰極,β-PbO2覆蓋的電極板作為陽極,電池與超大電容器一起作為直流電源,電極上不需覆蓋其它薄膜,電解液用中性的鹽如NaCl來促進臭氧氣體的產生。