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臭氧發生器是用于制取臭氧氣體（O3）的裝置。臭氧易于分解無法儲存，需現場制取現場使用（特殊的情況下可進行短時間的儲存），所以凡是能用到臭氧的場所均需使用臭氧發生器。臭氧發生器在飲用水，污水，工業氧化，食品加工和保鮮，醫藥合成，空間滅菌等領域廣泛應用。 臭氧發生器產生的臭氧氣體可以直接利用，也可以通過混合裝置和液體混合參與反應。
獲得方法：利用高壓電離(或化學、光化學反應)，使空氣中悼檔的部分氧氣分解聚合為臭氧，是氧的同素異形轉變過程;亦可利用電解水法獲得。臭氧的不穩定性使其很難實現瓶裝貯存 ，一般只能利用臭氧發生器現場生產，隨產隨用。 臭氧發生器的分類 按臭氧產生的方式劃分，臭氧發生器主要有三種：一是高壓放電式，二是紫外線照射式，三是電解式。
臭氧發生器系統設計時，能防止大量水進入到發生器內。
水封供氣壓縮機用的浮閥或空氣干燥器上的凝結水閥阻塞卡住，都會造成發生器電暈室內灌水。電暈室內大量進水可導致電暈集中、高電流密度和局部電介體發熱，造成介電體過早失效。即使檢測裝置在水進入電暈室之前切斷電暈電源，水中所含雜質也會沉積在元件表面上，這些雜質在繼續運行之前予以清除。運行故障或操作錯誤都能迫使處理出水從臭氧接觸池到流至發生器內，至少會造成電暈元件污染或者介電體損壞。此外，系統設計和操作規程阻止易燃的腐蝕性氣體及從臭氧接觸池回流的水蒸氣進入發生器內。
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